电磁阀是用电磁控制的工业设备，是用来控制流体的自动化基础元件，属于执行器，并不限于液压、气动。用在工业控制系统中调整介质的方向、流量、速度和其他的参数。电磁阀可以配合不同的电路来实现预期的控制，氦检设备而控制的精度和灵活性都能够保证。电磁阀有很多种，不同的电磁阀在控制系统的不同位置发挥作用，常用的是单向阀、安全阀、方向控制阀、速度调节阀等。

　　由于半导体工业上用的气体如硅烷, 氨气等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求成品漏率低于5-10 mbar l / s, 而这样的漏率要求也只有氦检设备能达到了。所以对于电磁阀的检漏，氦检设备是较好的选择!

　　电磁阀阀芯需要检漏

　　客户生产的电磁阀阀芯, 经过镭射焊接后, 怀疑焊缝存在微小的泄漏, 单个阀芯漏率需要低于 5-10 mbar l / s.

　　电磁阀阀芯检漏方法

　　来料先用放大镜目视检测, 阀芯镭射焊接完成后再目视检测, 用氦检设备检漏, 漏率值以氦检设备检测的数据作为标准.

　　电磁阀阀芯检漏操作说明

　　1. 先将阀接入工装, 形成一个密闭的腔体. 再将氦检设备连接到工装上.

　　2. 启动氦检设备, 真空模式下,设置漏率值 5-10 mbar l / s, 氦检设备开始抽取密闭腔体中的气体, 同时显示一个漏率值.

　　3. 在电磁阀镭射焊缝和怀疑有漏的地方喷氦气, 同时观察氦检设备上显示的漏率值有无变化.

　　4. 如果漏率值上升, 说明喷氦气的地方有漏, 该被检对象品质不合格. 如果漏率值能达到要求, 该被检物件合格, 检漏检测完成.

　　电磁阀阀芯检漏方法-负压法

　　1、先将阀接入工装，形成一个密闭的腔体，再将氦检设备连接到工装上。

　　2、启动氦检设备， 氦检设备开始抽取密闭腔体中的气体，同时显示一个漏率值。

　　3、在激光焊缝和怀疑有漏的地方喷氦气，同时观察氦检设备上显示的漏率值有无变化。

　　4、如果漏率值上升，说明喷氦气的地方有漏，该被检对象质量不合格。如果漏率值能达到要求，该被检对象合格，检漏检测完成。

　　正确的选择氦检设备和检漏方法、不仅能够获得可靠准确检测数据，而且能够大大降低生产检测成本。氦检设备在电磁阀检漏上的应用具有重要意义，电磁阀的性能指标有了量化的考评，对提升电磁阀产品质量具有推动性作用。